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                MP500 選化沉金系列干膜光阻劑

                  MP500 選化沉金系列干膜光阻劑

                MP500 選化沉金系列干膜光阻劑特別針對高解析度線路,具有優秀的耐堿性蝕刻性能。MP515和MP520可幾乎應用于所有電鍍工藝,包括鍍金。

                特色及優點

                極好的耐堿性蝕刻性能

                高解析度

                較好地應用于圖形電鍍

                較好地應用于直接電鍍

                用于沉金電鍍工藝過程

                蓋孔能力優異

                鍍金性能可達100μin

                項目
                單位
                MP515
                MP520
                備注
                厚度
                μm
                40
                50

                感度*1
                mj/cm2
                70
                90

                最短顯影時間
                sec.
                45
                55

                附著力*1*2(L/S=X/250)
                μm
                40
                50

                解析度*1*2(L/S=X/X)
                μm
                30
                40

                蓋孔孔徑
                μm
                6.0
                7.0

                *1:MP515(SST=7/21):采用Stouffer21格曝光尺,推薦硬化格數的中心值的曝光能量,海圣平行光曝光機制作(UVE-HSP5K-11

                *2:1wt%Na2CO3,30℃,最短顯影時間x2

                *3:分辨率、解析度以及顯影后圖像。



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